本發(fā)明公開一種測(cè)定深溝槽失效深度的方法,包括步驟:準(zhǔn)備試樣且獲得失效的深溝槽在樣品中的位置;在聚焦離子束樣品臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)到預(yù)定角度時(shí),在深溝槽的一側(cè)預(yù)定距離處采用垂直于樣品表面的離子束切割出凹坑;轉(zhuǎn)動(dòng)聚焦離子束樣品臺(tái),采用與樣品表面傾斜成預(yù)定角度的離子束切割包括失效深溝槽在內(nèi)的樣品,并且采用垂直于樣品表面的電子束觀看失效深溝槽的頂部圖像。本發(fā)明可以節(jié)省對(duì)于深溝槽失效深度的分析時(shí)間且提高分析的準(zhǔn)確度和成功率。