一種硅晶圓線切割液回收過(guò)程中失效離子交換樹脂再利用方法，屬于硅晶圓線切割領(lǐng)域，主要包括1）水沖洗；2）酸液浸泡；3）混合試劑浸泡；4）氧化劑浸泡；5）水養(yǎng)備用這五個(gè)步驟；解決了硅晶圓線切割液回收行業(yè)樹脂失效后難復(fù)蘇等問(wèn)題。本發(fā)明引進(jìn)的強(qiáng)氧化劑NaClO將雜質(zhì)中大分子有機(jī)物氧化成小分子有機(jī)物，在高速攪拌的情況下，使其更容易與樹脂分離。由于接觸時(shí)間短，溫度控制合理，對(duì)樹脂的本體及交換基團(tuán)無(wú)損壞。本發(fā)明針對(duì)由金屬離子、可溶性金屬絡(luò)合物、可溶性硅化物、有機(jī)物等引起的離子交換樹脂失效，復(fù)蘇后離子交換能力均能明顯恢復(fù)。通過(guò)實(shí)驗(yàn)檢測(cè)和現(xiàn)場(chǎng)實(shí)踐，復(fù)蘇后離子交換樹脂，其性能未發(fā)生改變，交換容量基本達(dá)到新樹脂的水平。