本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種高壓半導(dǎo)體器件的短期失效模型的建模方法，包括：根據(jù)高壓半導(dǎo)體器件的內(nèi)部元胞結(jié)構(gòu)得到正常工作模型；建立根據(jù)所述高壓半導(dǎo)體器件失效后的器件模型；檢測(cè)所述高壓半導(dǎo)體器件的工作參數(shù)；當(dāng)所述工作參數(shù)滿足失效邊界條件時(shí)，從所述正常工作模型切換到所述失效后的器件模型。由此，可以有效地同時(shí)描述失效發(fā)展過(guò)程中的器件行為和器件失效的最終狀態(tài)。