本實用新型公開了一種超高純液化氣氣體痕量水分分析裝置，包括氣體鋼瓶和水分儀，氣體鋼瓶與水分儀之間均通過主傳輸管道連接，所述主傳輸管道上連接有防倒流機構、抽真空機構、氮氣置換機構、壓力傳感器、過濾機構、泄壓旁路機構和防超壓機構；所述泄壓旁路機構與防超壓機構均與壓力傳感器相連，所述泄壓旁路機構還接入回收裝置。本方案可以在分析過程有效的避免因減壓造成樣氣溫度變化大、水分聚集，從而造成測量誤差較大的問題；避免了因操作不當引入灰塵等顆粒物質或因減壓過程產生液化污染水分儀的核心測量部件；避免了因減壓失效造成進樣壓力超水分儀要求損壞水分儀。