本申請公開了一種前處理接口程序的光機集成分析方法及鏡面面形優(yōu)化方法，包括：建立鏡面有限元模型；對鏡面有限元模型中所有有限元網(wǎng)格節(jié)點進行編號，根據(jù)節(jié)點編號提取有限元網(wǎng)格節(jié)點的坐標(biāo)信息；計算有限元網(wǎng)格節(jié)點的鏡面節(jié)點面積加權(quán)因子，依據(jù)鏡面節(jié)點面積加權(quán)因子以及坐標(biāo)信息，以Zernike澤尼克多項式作為擬合基底函數(shù)進行擬合，得到鏡面剛體位移量以及Zernike澤尼克多項式與鏡面有限元網(wǎng)格節(jié)點的位移量的線性關(guān)系式；將線性關(guān)系式進行光機接口前處理，生成有限元分析前處理文件，并將有限元分析前處理文件導(dǎo)入有限元模型中進行光機系統(tǒng)動力學(xué)集成分析和鏡面面形優(yōu)化處理。解決了光機程序后處理方式中大量擬合數(shù)據(jù)量導(dǎo)致的計算量大以及擬合失效的問題。