一種識別用于測量微電子特征所需尺寸的計量工具系統(tǒng)中的失效的方法,其中的每個計量工具運行多個配方以測量微電子特征所需尺寸,每個配方包括測量微電子特征的至少一個尺寸的一組指令。該系統(tǒng)包括存儲有微電子特征尺寸測量中的失效的誤差記錄。該方法包括從上述的失效中確定由計量工具所使用的配方的誤差的歸一化數(shù)量、識別誤差記錄中具有最大歸一化誤差數(shù)量的一個或多個配方、在由計量工具執(zhí)行的作業(yè)列表中識別所述具有最大歸一化誤差數(shù)量的配方以及從所述配方中確定一個或多個配方的誤差的原因。然后改變具有最大歸一化誤差數(shù)量的配方以校正其中的誤差,跟蹤具有所述已經(jīng)改變的一個或多個配方的計量工具作業(yè)以確定是否已經(jīng)校正了誤差原因。