本實用新型是以Si-MOS型Al2O3濕度傳感器 為測濕元件的濕度測量儀。它采用α相Al2O3作為 MOS結(jié)構(gòu)的氧化層并以正交分量法電容測量儀作為 二次儀表，可重復穩(wěn)定地測量-80℃～+10℃露點 范圍的絕對濕度和0—100％的相對濕度。儀器讀數(shù) 穩(wěn)定，不發(fā)生長期漂移，可用于工業(yè)過程的濕度監(jiān) 控，環(huán)境濕度的檢測與控制，超純氣體中含水量的分 析測量，氣密封裝電子器件中濕度的檢測及器件可 靠性和失效機理的研究等領域。