本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N電遷移測(cè)試結(jié)構(gòu)、半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及三維存儲(chǔ)器。其中，電遷移測(cè)試結(jié)構(gòu)包括測(cè)試線和襯底。測(cè)試線連接有陽極引線和陰極引線；襯底與陰極引線連接，襯底配置為通過陰極引線接收測(cè)試線中的靜電荷。本申請(qǐng)通過將陰極引線接入襯底，從而使襯底能夠通過陰極引線接收測(cè)試線中的靜電荷，因此，在測(cè)試過程中以及在后續(xù)失效分析過程中即使引入了靜電，這部分靜電也可通過陰極引線導(dǎo)出至襯底中，以此減小測(cè)試和失效分析過程中測(cè)試線發(fā)生爆燃的可能性。