本發(fā)明屬于理化測試技術(shù),涉及一種合金鋼脫碳層深度的測量方法。本發(fā)明合金鋼脫碳層深度測量方法采用將掃描電鏡的圖像信號輸出端與X射線能譜儀的輸入端連接,利用掃描電鏡進行測量分析,再用X射線能譜儀進行分析驗證,其具體過程如下:先切割試樣;對試樣進行表面處理,清洗試樣;然后將試樣安放在掃描鏡內(nèi)并抽真空;調(diào)整掃描電鏡參數(shù),進行組織形態(tài)分析;然后利用采集圖像采集,對過渡區(qū)二分之一處的測量點兩側(cè)進行能譜分析,驗證碳成份,最終完成脫碳層深度的測量。本發(fā)明能對合金鋼脫碳層深度進行準(zhǔn)確分析,且操作簡單、方便,能夠滿足實際科研生產(chǎn)和失效分析的需要。