本發(fā)明公開了一種數(shù)字坐標軸，由硅襯底上的柵氧化膜上的多晶硅圖案組成且位于測試結(jié)構(gòu)的周圍，測試結(jié)構(gòu)和數(shù)字坐標軸制作在同一層光罩中。數(shù)字坐標軸包括水平數(shù)字坐標軸和垂直數(shù)字坐標軸，水平數(shù)字坐標軸和垂直數(shù)字坐標軸的長度分別大于測試結(jié)構(gòu)的長度和寬帶、滿足能夠?qū)y試結(jié)構(gòu)的所有點進行定位。本發(fā)明還公開了一種柵氧化膜可靠性測試方法，包步驟：形成數(shù)字坐標軸、對測試結(jié)構(gòu)進行EMMI測試并用數(shù)字坐標軸記錄發(fā)光點位置、進行FIB測試。本發(fā)明數(shù)字坐標軸能夠為測試結(jié)構(gòu)提供精確的坐標，能為柵氧化膜可靠性測試方法中的發(fā)光點進行精確定位并提供數(shù)字化坐標，能為FIB切割定位提供準確位置，能提高失效分析的成功率。