本發(fā)明提供一種用于遠(yuǎn)程監(jiān)測等離子體(3)的方法和系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括位于耦合等離子體源的近電磁場中的磁場天線(2)，其中，該磁場天線是置于該近電磁場中的磁環(huán)天線并測量從該等離子體源發(fā)射的近場信號。一種無線電系統(tǒng)(1)用于分析寬頻帶上的低功率信號電平。通過對驅(qū)動頻率的高次諧波上所存在的諧振特征進(jìn)行擬合來評估諸如串聯(lián)或幾何諧振等離子體頻率、和電子中性碰撞頻率之類的等離子體參數(shù)，以標(biāo)識制造等離子體系統(tǒng)中常見的電弧、泵、或匹配失效事件。