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用于經(jīng)時(shí)擊穿測試的探針卡及經(jīng)時(shí)擊穿測試方法

1148   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 09:00:14
本發(fā)明涉及芯片測試領(lǐng)域,提供一種用于經(jīng)時(shí)擊穿測試的探針卡以及經(jīng)時(shí)擊穿測試方法。所述用于經(jīng)時(shí)擊穿測試的探針卡包括:印制電路板以及設(shè)置于所述印制電路板的探針,所述印制電路板設(shè)有用于輸入經(jīng)時(shí)擊穿測試信號的輸入端,還包括限流元件,所述探針的第一端通過所述限流元件連接所述印制電路板的輸入端,所述探針的第二端用于輸出所述經(jīng)時(shí)擊穿測試信號。本發(fā)明通過限流元件吸收器件柵氧化層被擊穿時(shí)的瞬間大電流,防止器件內(nèi)部的其它結(jié)構(gòu)被損壞(擊穿),這種情況下器件處于早期損壞,容易確定早期損壞故障點(diǎn)的位置,有助于確定可靠性失效的根本原因。
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“用于經(jīng)時(shí)擊穿測試的探針卡及經(jīng)時(shí)擊穿測試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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