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剔出芯片點(diǎn)測過程中不良晶粒的裝置

854   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 09:00:21
本實(shí)用新型提供一種剔出芯片點(diǎn)測過程中不良晶粒的裝置,該裝置是在晶圓片測試芯片晶粒時(shí),發(fā)現(xiàn)不合格的失效晶粒,在失效晶粒上正常打點(diǎn),并注入磁性油墨,在切割、分離后的晶粒兩側(cè),布設(shè)兩根非磁性導(dǎo)軌,導(dǎo)軌距分離后的晶粒的高度在4-6mm,在兩根導(dǎo)軌之間架設(shè)一磁鋼滾筒,磁鋼滾筒受電機(jī)帶動(dòng),沿導(dǎo)軌來回滾動(dòng),吸出晶圓片上的不良晶粒。所述磁性油墨的磁極性與磁鋼滾筒的磁極性相反。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是,剔出不合格晶粒效率高,成品率高,大大降低了生產(chǎn)成本。
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