本申請(qǐng)涉及一種大功率器件功率循環(huán)試驗(yàn)結(jié)溫監(jiān)測(cè)方法、裝置和系統(tǒng)。所述方法包括：基于預(yù)設(shè)測(cè)試參數(shù)控制電源設(shè)備給待測(cè)器件上電時(shí)，采用瞬態(tài)結(jié)溫監(jiān)測(cè)模型處理殼溫和功率損耗得到第一類結(jié)溫；在監(jiān)測(cè)到上電后的待測(cè)器件運(yùn)行穩(wěn)定時(shí)，采用大電流溫敏參數(shù)模型處理導(dǎo)通電流值和導(dǎo)通電壓值得到第二類結(jié)溫；在監(jiān)測(cè)到升溫時(shí)長(zhǎng)計(jì)時(shí)結(jié)束、且待測(cè)器件的結(jié)溫的增加值達(dá)到預(yù)設(shè)值時(shí)，采用小電流溫敏參數(shù)模型處理導(dǎo)通電壓變化量得到第三類結(jié)溫；在監(jiān)測(cè)到降溫時(shí)長(zhǎng)計(jì)時(shí)結(jié)束、且待測(cè)器件的結(jié)溫的降低值達(dá)到預(yù)設(shè)值時(shí)，對(duì)測(cè)試次數(shù)累加一次，直至測(cè)試次數(shù)達(dá)到預(yù)設(shè)次數(shù)或待測(cè)器件失效，從而實(shí)現(xiàn)從上電到下電降溫對(duì)待測(cè)器件的結(jié)溫進(jìn)行全過(guò)程實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。