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深N阱隔離測試結(jié)構(gòu)

1144   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 09:00:33
本實(shí)用新型提供一種深N阱隔離測試結(jié)構(gòu),包括P型襯底及形成于其中的第一、第二深N阱,第一、第二N阱,第一、第二P阱;其中:所述第一、第二P阱的側(cè)面靠下部分分別被所述第一、第二N阱所包圍;所述第一、第二深N阱分別形成于所述第一、第二P阱下方,且邊緣部分分別與所述第一、第二N阱連接;所述第一、第二P阱,第一、第二N阱分別通過相應(yīng)的引出部與所述第一、第二、第三、第四測試焊盤連接。本實(shí)用新型通過引入N型重?fù)诫s區(qū)域連接N阱,并增加用于測試兩個(gè)深N阱區(qū)域之間一對(duì)N阱之間隔離效果的測試焊盤,避免了由于兩塊NW之間缺陷造成兩個(gè)DNW區(qū)域之間的隔離失效被忽視的問題,從而能夠更為全面地偵測兩塊深N阱之間區(qū)域的隔離效果。
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