本發(fā)明提供了一種晶圓的虛擬打墨方法，首先基于晶圓的不良晶粒的數(shù)量和分布方式判斷晶圓是否需要進(jìn)行針對(duì)晶圓測(cè)試的虛擬打墨，若是，則分析晶圓的失效來源，當(dāng)無法分析出晶圓的失效來源時(shí)，對(duì)每個(gè)不良晶粒周圍的至少部分晶粒均進(jìn)行虛擬打墨，當(dāng)分析出晶圓的失效來源時(shí)，基于晶圓的失效來源對(duì)晶圓劃分子區(qū)域，并基于不良晶粒的分布方式對(duì)至少部分子區(qū)域中的所有晶粒整體進(jìn)行虛擬打墨。本發(fā)明不需要人工參與，虛擬打墨的規(guī)則統(tǒng)一，避免人工操作的差異和誤操作，提高了虛擬打墨的效率。