本發(fā)明提供一種光刻設(shè)備、定位系統(tǒng)和定位方法。具體地,一種用于光刻設(shè)備的定位系統(tǒng),包括:控制系統(tǒng),用于沿至少一個(gè)基本上平行于框架的方向定位所述光刻設(shè)備的可移動(dòng)物體,所述控制系統(tǒng)包括:測(cè)量系統(tǒng),用于測(cè)量所述可移動(dòng)物體的位置;致動(dòng)器,用于施加力到所述可移動(dòng)物體;和控制器,用于基于所述測(cè)量系統(tǒng)的輸出提供驅(qū)動(dòng)信號(hào)給所述致動(dòng)器;和緊急制動(dòng)系統(tǒng),其配置成確定所述控制系統(tǒng)的失效,并且如果確定所述失效,禁用所述控制系統(tǒng)并且對(duì)抗所述框架拉動(dòng)所述可移動(dòng)物體。