本發(fā)明公開了一種快速收集閾值電壓分布的方法，通過將傳統(tǒng)采用統(tǒng)一電壓掃描步長的一次掃描方式優(yōu)化為采用不同電壓掃描步長的二次掃描方式，第一次掃描采用較大的步長進行，根據(jù)存儲單元失效數(shù)目，大致判斷閾值電壓分布范圍，當出現(xiàn)第一個存儲單元失效時，可依此判斷閾值電壓分布的開始值；當存儲單元全部失效時，可依此判斷閾值電壓分布的結(jié)束值，確定閾值電壓分布的大致范圍后，采用較小的步長進行第二次掃描，從而可大大縮短收集閾值電壓分布所需的時間，也保證了測試的準確性。