本發(fā)明公開一種敏感膜、MEMS麥克風(fēng)及其制作方法，該敏感膜包括感測部，用于感測振動信號；連接部，所述連接部環(huán)繞所述感測部設(shè)置，并用于固定所述感測部；動作部，所述動作部連接所述感測部和所述連接部，所述動作部的剛度小于所述感測部的剛度和/或所述連接部的剛度；以及補強部，所述補強部設(shè)于所述動作部。本發(fā)明技術(shù)方案旨在提高敏感膜的結(jié)構(gòu)強度，降低敏感膜破裂失效的概率。