本實(shí)用新型公開了原位清潔PLD電化學(xué)表征系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括：脈沖激光沉積腔室、激光發(fā)射裝置、電化學(xué)工作站、反射高能電子衍射儀、配套使用的熒屏和CCD相機(jī)、真空手套箱和抽真空設(shè)備。該系統(tǒng)將電化學(xué)工作站集成到PLD設(shè)備中，不僅能夠精確制備結(jié)構(gòu)致密且界面清晰的超清潔薄膜圖案電極，還能夠原位精確地對(duì)樣品進(jìn)行在不同氣氛和不同濕度下的性能測試和表征；此外將脈沖激光沉積(PLD)腔室和真空手套箱連接起來，能夠維持樣品表面高的潔凈度，為后續(xù)其它性能表征提供高潔凈度的樣品，提高測試的準(zhǔn)確性。由此，對(duì)理解器件失效原因和性能提升以及器件的工業(yè)生產(chǎn)和應(yīng)用具有重大意義。