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半導(dǎo)體器件及其形成方法

1396   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 09:20:07
一種半導(dǎo)體器件及其形成方法,所述形成方法可以包括:提供半導(dǎo)體襯底,所述半導(dǎo)體襯底包括芯片區(qū)以及切割道區(qū);在所述半導(dǎo)體襯底的表面形成頂層金屬互聯(lián)結(jié)構(gòu);形成鈍化層,所述鈍化層覆蓋所述頂層金屬互聯(lián)結(jié)構(gòu),所述切割道區(qū)的鈍化層高于所述芯片區(qū)的鈍化層;對所述鈍化層進行刻蝕,以暴露出所述芯片區(qū)和切割道區(qū)內(nèi)的頂層金屬互連結(jié)構(gòu)。本發(fā)明方案有助于避免引線落在接地的測試鍵上,降低芯片發(fā)生短路失效的可能性。
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