本發(fā)明涉及使金屬氟氧化物mo(6-x)/2fx(0＜x＜6、m＝w或mo)與含氟氣體進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)而轉(zhuǎn)換為mf6的處理方法及使用該處理方法去除金屬氟氧化物(metaloxyfluorides)的沉積物等的清潔方法。 背景技術(shù)： ：作為化學(xué)氣相沉積鎢(w)及鎢化合物、鉬(mo)或鉬化合物時(shí)的前體，已知有六氟化鎢或六氟化鉬。作為這些前體的工業(yè)制造方法，已知有如反應(yīng)式(1-1)～(1-2)、反應(yīng)式(2-1)～(2-2)所示，使金屬鎢與氟或三氟化氮、使金屬鉬與氟或三氟化氮接觸的方法。w(s)+3f2(g)→wf6(g)反應(yīng)式(1-1)w(s)+2nf3(g)→wf6(g)+n2(g)反應(yīng)式(1-2)mo(s)+3f2(g)→mof6(g)反應(yīng)式(2-1)mo(s)+2nf3(g)→mof6(g)+n2(g)反應(yīng)式(2-2)六氟化鎢與六氟化鉬在工業(yè)制造方法中使用了金屬鎢或金屬鉬，但在金屬鎢或金屬鉬中包含氧化物、及表面氧化物作為雜質(zhì)，原料的氟或三氟化氮與這些氧化物反應(yīng)，生成wof4或moof4等金屬氟氧化物mo(6-x)/2fx(0＜x＜6、m＝w或mo)作為雜質(zhì)。wo3(s)+2f2(g)→wof4+o2(g)反應(yīng)式(3-1)wo3(s)+4/3nf3(g)→wof4+o2(g)+2/3n2(g)反應(yīng)式(3-2)moo3(s)+2f2(g)→moof4+o2(g)反應(yīng)式(4-1)moo3(s)+4/3nf3(g)→moof4+o2(g)+2/3n2(g)反應(yīng)式(4-2)金屬氟氧化物也會(huì)因作為產(chǎn)物的六氟化鎢或六氟化鉬與金屬氧化物接觸而生成。wo3(s)+2wf6(g)→3wof4反應(yīng)式(3-3)wo3(s)+2wf6(g)→3wof4反應(yīng)式(4-3)進(jìn)而，金屬氟氧化物也會(huì)因作為產(chǎn)物的六氟化鎢或六氟化鉬與水(h2o)進(jìn)行接觸而生成。h2o+wf6(g)→wof4+2hf反應(yīng)式(3-4)h2o+mof6(g)→moof4+2hf反應(yīng)式(4-4)另外，在將六氟化鎢或六氟化鉬用作化學(xué)氣相沉積鎢或鎢化合物、鉬或鉬化合物時(shí)的前體的情況下，使用與成為被處理基板的si晶圓的si進(jìn)行反應(yīng)的方法(反應(yīng)式(5-1))、或與添加的h2進(jìn)行反應(yīng)的方法(反應(yīng)式(5-2))等。但在成為被處理基板的si晶圓因自然氧化膜等而存在sio2的情況下，生成金屬氟氧化物(反應(yīng)式(5-3))。另外，也會(huì)因腔室內(nèi)的水分而