本發(fā)明涉及一種制備AZO靶材的工藝，其包括將菱鋅礦粉加入氨水和碳酸氫氨溶液中進(jìn)行浸出，對浸出液進(jìn)行除雜、過濾；將過濾后的固體先用氨水溶液洗滌，再用無水乙醇淋洗；接著進(jìn)行陳化、抽濾，得到前驅(qū)體；將前驅(qū)體干燥、煅燒，得到納米氧化鋅粉體；將上述納米氧化鋅粉體和氧化鋁粉體加入聚丙烯酸溶液中，形成懸浮液，再對懸浮液進(jìn)行球磨；接著將過硫酸銨和四甲基乙二胺均勻加入球磨后的懸浮液中，進(jìn)行真空除氣后倒入模具，并固化、脫模干燥得到生坯；對生坯排膠處理后進(jìn)行燒結(jié)，得到?AZO?靶材。本發(fā)明不僅工藝流程較短，設(shè)備投資較??；本發(fā)明將氧化鋅納米級顆粒通過上述工藝制備的AZO靶材成分分布均勻、密度高，提高了AZO靶材的使用性能。