本發(fā)明涉及一種高純超細改性硅微粉及其制備方法，其特征在于由以下重量百分比的原料組成：SiO2?99.8?100%、Al2O3?0?0.03%、Fe2O3?0?0.003%，粒度D50=0.5～1μm、D100≤5μm，a.干法磨礦；b.濕法磨礦，加有機脂肪酸酯，得硅微粉混合液；c.硅微粉混合液用水力旋流器組分級，得硅微粉；d.硅微粉進入離心脫水機或板式壓濾機脫水，控制含水量≤10%；e.干燥，控制含水量≤0.3%；f.用高速混合機進行改性，加硅烷改性藥劑，得改性硅微粉；g.用臥式氣流分級機去除團聚“粗顆?！奔纯?。本發(fā)明優(yōu)點：1.制得硅微粉D100≤5μm；2.本方法有效避免粉體團聚、粉體二次污染等問題；3.制得的產(chǎn)品應(yīng)用于超薄型覆銅板行業(yè)，具有廣泛的推廣應(yīng)用價值。