滑軌式管式爐一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求,通過移動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速冷卻的目的。同時(shí)也可以預(yù)先設(shè)定溫度,然后移動(dòng)到樣品處,達(dá)到快速升溫的效果。適合使用廣泛的RTP工藝及CVD
石墨烯工藝。
特點(diǎn)
● 工作溫度范圍:RT~1000°C。
●額外選配:爐內(nèi)測量系統(tǒng)(氧含量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系統(tǒng));真空系統(tǒng)(旋片式機(jī)械泵、擴(kuò)散泵機(jī)組、分子泵機(jī)組);氣氛系統(tǒng)(浮子流量計(jì)、質(zhì)量流量計(jì));監(jiān)控系統(tǒng)(溫度記錄儀、觸摸屏遠(yuǎn)程監(jiān)控);選件需配置拓展柜體。
技術(shù)參數(shù)
設(shè)備型號(hào) 最高溫度 管徑 加熱區(qū) 溫區(qū)數(shù) 熱電偶 電壓 功率
FGL(RTP)-40/11/1 1100℃ 40mm 320mm 1個(gè) K型 220V 3.0KW
FGL(RTP)-60/11/1 1100℃ 60mm 320mm 1個(gè) K型 220V 3.0KW
FGL(RTP)-80/11/1 1100℃ 80mm 320mm 1個(gè) K型 220V 3.0KW
FGL(RTP)-90/11/1 1100℃ 90mm 320mm 1個(gè) K型 220V 5.0KW
FGL(RTP)-100/11/1 1100℃ 100m 320mm 1個(gè) K型 220V 5.0KW
FGL(RTP)-110/11/1 1100℃ 110mm 320mm 1個(gè) K型 220V 5.0KW
注:給出的最高溫度為工作管外測定,其它溫區(qū)個(gè)數(shù)和加熱區(qū)長度可根據(jù)客戶工藝要求定制。