基礎(chǔ)金屬	銅電解銅銅精礦銅管銅棒廢銅銅排銅合金精銅桿再生銅桿銅板帶鋁鋁土礦氧化鋁電解鋁鋁輔料鋁棒鋁合金錠廢鋁鋁桿鋁型材鋁板卷鉛鉛精礦鉛錠鉛蓄電池再生精鉛還原鉛廢鉛蓄電池鉛合金鋅鋅精礦電解鋅鋅合金氧化鋅鋅粉錫錫精礦錫錠錫材
稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
新能源	鋰鋰礦鋰化合物金屬鋰鎳鎳礦鎳鐵精煉鎳鎳鹽高冰鎳 MHP 鈷電解鈷鈷粉氯化鈷四氧化三鈷硫酸鈷鈷中間品氧化鈷碳酸鈷鈷酸鋰錳錳礦電解錳電池級硫酸錳鋰電正負(fù)極三元前驅(qū)體磷酸鐵正極材料石油焦針狀焦包覆瀝青人造石墨硅碳負(fù)極硅氧負(fù)極電解液隔膜隔膜電解液電芯

基礎(chǔ)金屬

銅電解銅銅精礦銅管銅棒廢銅銅排銅合金精銅桿再生銅桿銅板帶鋁鋁土礦氧化鋁電解鋁鋁輔料鋁棒鋁合金錠廢鋁鋁桿鋁型材鋁板卷鉛鉛精礦鉛錠鉛蓄電池再生精鉛還原鉛廢鉛蓄電池鉛合金鋅鋅精礦電解鋅鋅合金氧化鋅鋅粉錫錫精礦錫錠錫材

稀貴金屬

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新能源

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1200℃PECVD系統(tǒng)

371

規(guī)格/型號：KJ-PECVD-1200-50*300-F3

品牌：鴻爐機械

應(yīng)用領(lǐng)域：材料制備

產(chǎn)地：河南 - 鄭州

廠家/供應(yīng)商：河南鴻爐機械設(shè)備有限公司

咨詢電話:：177-3714-9370（請說明信息源自“中冶有色網(wǎng)”）

更新時間：2025-07-29

級別：待認(rèn)證

1200℃PECVD系統(tǒng)說明介紹

設(shè)備介紹

PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。該PECVD管式爐溫度范圍寬;濺射區(qū)域長;整管可調(diào);精致小巧，性價比高，可實現(xiàn)快速升降溫，是實驗室生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復(fù)合薄膜等的理想選擇，也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。

產(chǎn)品優(yōu)勢

更好的沉積效率

PECVD比普通CVD具有更高的化學(xué)氣相沉積速率、更好的均勻性、一致性和穩(wěn)定性

所需溫度更低

PECVD對于化學(xué)氣相沉積需要比普通CVD更低的溫度

成品質(zhì)量好

具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱 1200℃PECVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號 KJ-PECVD-1200-50*300-F3

加熱系統(tǒng)

顯示 LED