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直線電機(jī)及半導(dǎo)體制備系統(tǒng)

884   編輯:中冶有色網(wǎng)   來(lái)源:東莞聯(lián)鵬智能裝備有限公司  
2023-12-26 11:51:36
權(quán)利要求書: 1.一種直線電機(jī),其特征在于,所述直線電機(jī)包括: 傳動(dòng)軸(10); 至少兩個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(20),沿第一方向(X)并列且間隔設(shè)置,各所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(20)均包括基座(21)、設(shè)于基座(21)上的定子(22)與導(dǎo)向組件(24)、以及與所述定子(22)配合的動(dòng)子(23),所述定子(22)用于驅(qū)使所述動(dòng)子(23)沿第二方向(Y)線性運(yùn)動(dòng),各所述動(dòng)子(23)均與所述傳動(dòng)軸(10)連接,所述導(dǎo)向組件(24)包括設(shè)于所述基座(21)上的導(dǎo)軌(241)、及沿所述第二方向(Y)滑動(dòng)設(shè)于所述導(dǎo)軌(241)上的滑塊(242),用于對(duì)所述傳動(dòng)軸(10)沿所述第二方向(Y)的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行導(dǎo)向,所述滑塊(242)位于所述動(dòng)子(23)沿與所述第二方向(Y)相交的方向的一側(cè),所述第一方向(X)與所述第二方向(Y)相交; 其中,各所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(20)還包括具有形變功能的緩沖件(25),所述滑塊(242)通過(guò)所述緩沖件(25)與所述動(dòng)子(23)連接。 2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直線電機(jī),其特征在于,各所述動(dòng)子(23)與所述傳動(dòng)軸(10)之間均連接有第一安裝件(231),所述滑塊(242)上設(shè)有與所述第一安裝件(231)間隔的第二安裝件(243),所述緩沖件(25)連接于所述第一安裝件(231)與所述第二安裝件(243)之間。 3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的直線電機(jī),其特征在于,所述緩沖件(25)具有形變面(256),所述形變面(256)覆蓋并連接于所述第一安裝件(231)與所述第二安裝件(243)的同一側(cè)。 4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的直線電機(jī),其特征在于,各所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(20)還包括第一固定件(251)與第二固定件(252),所述第一固定件(251)與所述第二固定件(252)分別用于將所述形變面(256)對(duì)應(yīng)壓接在所述第一安裝件(231)與所述第二安裝件(243)上。 5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的直線電機(jī),其特征在于,在所述第一安裝件(231)與所述第二安裝件(243)之間的間隔方向上,所述緩沖件(25)的整體長(zhǎng)度記為L(zhǎng)1,所述緩沖件(25)在所述第一安裝件(231)和所述第二安裝件(243)之間懸空的部分長(zhǎng)度記為L(zhǎng)2,其中,3:5≤L2:L1≤5:7。 6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的直線電機(jī),其特征在于,所述緩沖件(25)包括主體(253)及連
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“直線電機(jī)及半導(dǎo)體制備系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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