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傳送桿及掃描電鏡

1220   編輯:中冶有色網(wǎng)   來源:業(yè)成科技(成都)有限公司  
2024-06-12 15:12:32
權(quán)利要求書: 1.一種傳送桿,其特征在于,包括:載體;夾取裝置,設(shè)置在所述載體上,所述夾取裝置包括固定部、活動部以及推桿,所述固定部固定設(shè)置在所述載體上,所述活動部可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述載體上,所述推桿與所述活動部轉(zhuǎn)動連接,所述推桿相對所述活動部轉(zhuǎn)動的軸線與所述活動部相對所述載體轉(zhuǎn)動的軸線之間不同軸;第一驅(qū)動裝置,設(shè)置在所述載體上,所述推桿用于接收所述第一驅(qū)動裝置的施力,以便推動所述活動部相對于所述載體轉(zhuǎn)動,用于驅(qū)動所述夾取裝置動作,以便使所述夾取裝置夾緊或松開樣品臺;第二驅(qū)動裝置,與所述載體相接,用于驅(qū)動所述載體在第一方向和第二方向上運(yùn)動,以便帶動所述夾取裝置在所述第一方向和所述第二方向上運(yùn)動,使得所述夾取裝置可以伸入或退出掃描電鏡的真空倉,其中所述第一方向和所述第二方向相反。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳送桿,其特征在于,所述載體包括第一管體,所述夾取裝置設(shè)置在所述第一管體的第一端,所述第一驅(qū)動裝置設(shè)置在所述第一管體內(nèi),所述第二驅(qū)動裝置與所述第一管體的第二端相接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳送桿,其特征在于,所述夾取裝置包括:固定部,與所述第一管體的第一端固定連接;活動部,與所述第一管體的第一端轉(zhuǎn)動連接,所述第一驅(qū)動裝置用于驅(qū)動所述活動部相對所述第一管體轉(zhuǎn)動,從而使所述活動部靠近所述固定部或遠(yuǎn)離所述固定部,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對樣品臺的夾緊或松開。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳送桿,其特征在于,所述推桿穿設(shè)在所述第一管體內(nèi),并與所述活動部轉(zhuǎn)動連接,其中,所述推桿相對所述活動部轉(zhuǎn)動的軸線與所述活動部相對所述第一管體轉(zhuǎn)動的軸線之間不同軸;所述推桿用于接收所述第一驅(qū)動裝置的施力,以便推動所述活動部相對于所述第一管體轉(zhuǎn)動。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳送桿,其特征在于,所述第一驅(qū)動裝置包括電磁鐵,所述電磁鐵設(shè)置在所述第一管體內(nèi),所述電磁鐵通電后能夠驅(qū)動所述推桿在所述第一方向上運(yùn)動,進(jìn)而使所述活動部相對于所述第一管體轉(zhuǎn)動;及/或所述載體還包括第一支撐環(huán),所述第一支撐環(huán)的外壁與所述第一管體的內(nèi)壁緊配合,所述推桿穿設(shè)在所述第一支撐環(huán)內(nèi),并可在所述第一方向和所述第二方向上相對所在第一支撐環(huán)運(yùn)動。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的傳送桿,其特征在于,所述第一驅(qū)動裝置還包括彈性件,所述推桿在所述第一方向上運(yùn)動時會對所述彈性件施力,使所述彈性件產(chǎn)生形變,以便在所述電磁鐵
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