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基于鎵鋁砷外延合金及其制備方法

614   編輯:中冶有色網(wǎng)   來源:深圳市奧倫德元器件有限公司  
2024-11-08 16:17:38
權利要求 1.一種基于鎵鋁砷外延合金,其特征在于,包括: 鎵鋁砷外延層(100); 第一氧化層(200),所述第一氧化層(200)設置在所述鎵鋁砷外延層(100)的上方,所述第一氧化層(200)包括多個經(jīng)一次光刻形成的第一窗口(210)和第一凸塊(220),所述第一窗口(210)與所述第一凸塊(220)間隔分布; 第一金屬層(300),所述第一金屬層(300)設置在所述第一氧化層(200)的上方; 第二氧化層(400),所述第二氧化層(400)設置在所述第一金屬層(300)的上方,所述第二氧化層(400)包括多個經(jīng)二次光刻形成的第二窗口(410)和第二凸塊(420),所述第二窗口(410)與所述第二凸塊(420)間隔分布,所述第一窗口(210)與所述第二窗口(410)的垂直方向上錯位排列; 第二金屬層(500),所述第二金屬層(500)設置在所述第一氧化層(200)的上方。 2.根據(jù)權利要求1所述的基于鎵鋁砷外延合金,其特征在于, 所述第一氧化層(200)的材料為二氧化硅,所述第一氧化層(200)的厚度為1000-2800埃米。 3.根據(jù)權利要求1所述的基于鎵鋁砷外延合金,其特征在于, 所述第一金屬層(300)包括金鈹合金和金,金鈹合金和金依次通過蒸鍍的方式層疊在所述第一氧化層(200)的上方。 4.根據(jù)權利要求3所述的基于鎵鋁砷外延合金,其特征在于, 所述第一金屬層(300)中金鈹合金的厚度為100-800埃米,所述第一金屬層(300)中金厚度為3000-8000埃米。 5.根據(jù)權利要求1所述的基于鎵鋁砷外延合金,其特征在于, 所述第二氧化層(400)的材料為二氧化硅,所述第二氧化層(400)的厚度為1500-3500埃米。 6.根據(jù)權利要求1所述的基于鎵鋁砷外延合金,其特征在于, 所述第二金屬層(500)包括鈦和金,鈦和金依次通過蒸鍍的方式層疊在所述第二氧化層(400)的上方。 7.根據(jù)權利要求6所述的基于鎵鋁砷外延合金,其特征在于, 所述第二金屬層(500)中鈦的厚度為100-500埃米,所述第二金屬層(500)
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