權(quán)利要求 1.一種大面積鈣鈦礦太陽能電池的連續(xù)制備生產(chǎn)線，其特征在于，包括依次連接的上料平臺(tái)(1)，進(jìn)料腔體(2)，第一緩沖腔體(3)，真空蒸鍍沉積工藝腔體(4)，第二緩沖腔體(5)，真空傳輸腔體(6)，第三緩沖腔體(7)，原子層沉積工藝腔體(8)，出料腔體(9)和卸料平臺(tái)(10); 所述真空蒸鍍沉積工藝腔體(4)中設(shè)置有蒸發(fā)源，用于制備電子傳輸層;所述原子層沉積腔體(8)用于制備電子傳輸層或界面修飾層; 所述進(jìn)料腔體(2)和出料腔體(9)用于抽放大氣，設(shè)置傳輸速度;所述進(jìn)料腔體(2)和出料腔體(9)的兩側(cè)設(shè)置有閘閥，各腔體上設(shè)置抽真空裝置使得腔體內(nèi)部形成真空腔室，所述真空腔室的兩側(cè)設(shè)置傳動(dòng)輸送裝置帶動(dòng)真空腔室內(nèi)的輸送載盤從進(jìn)料腔體(2)依次向前輸送至出料腔體(9)，每個(gè)腔體上至少設(shè)置一路冷卻管道，腔體與腔體間設(shè)有閘板隔離裝置。 2.如權(quán)利要求1所述的大面積鈣鈦礦太陽能電池的連續(xù)制備生產(chǎn)線，其特征在于，所述輸送載盤上裝配有兩塊玻璃基片。 3.如權(quán)利要求1所述的大面積鈣鈦礦太陽能電池的連續(xù)制備生產(chǎn)線，其特征在于，所述玻璃基片的長度為1.0m-1.2m，寬度為0.6m-0.8m。 4.一種大面積鈣鈦礦太陽能電池的連續(xù)制備方法，其特征在于，采用如權(quán)利要求1所述的大面積鈣鈦礦太陽能電池的連續(xù)制備生產(chǎn)線，所述制備方法包括如下步驟： S1)將已完成空穴傳輸層以及鈣鈦礦活性層制備的大面積玻璃基板通過上料平臺(tái)(1)進(jìn)入進(jìn)料腔體(2); S2)開啟C60源或PCBM源加熱，等待源升溫以及蒸發(fā)速率溫度，進(jìn)入第一緩沖腔體(3)設(shè)定傳送速率使玻璃基板進(jìn)入真空蒸鍍沉積工藝腔體(4)進(jìn)行蒸鍍; S3)通過真空傳輸腔體(6)進(jìn)入第三緩沖腔體(7)等待到達(dá)沉積溫度后，進(jìn)入原子層沉積工藝腔體(8); S4)先行噴二甲基錫或四甲基鈦前提氣體，形成單分子層，將多余前體氣體抽出，以使得只有單分子層的前提氣體留在膜層表面;引入氧化劑氧氣，與吸附在表面的單分子層發(fā)生反應(yīng)，生成SnOx; S5)重復(fù)步驟S4，多次循環(huán)使得SnOX厚度達(dá)到預(yù)設(shè)厚度; S6)進(jìn)入出料腔體(9)后，充氣平衡大氣后傳輸至卸料平臺(tái)(10)。 5.如權(quán)利要求4