權(quán)利要求 1.一種鈦合金圓管內(nèi)壁表面雙輝等離子滲氮的處理方法，其特征在于：該處理方法所使用的設(shè)備為雙層輝光離子滲金屬熱處理爐，熱處理爐包括爐底盤和罩形爐體，熱處理爐上連接有開合裝置、電源系統(tǒng)、氣氛系統(tǒng)、輝光裝置以及冷卻系統(tǒng); 處理方法包括如下步驟： S1 將鑄態(tài)TC4棒材加工為TC4圓管; S2 設(shè)備安裝：通過熱處理爐上設(shè)置的開合裝置將爐體打開，然后將帶孔長(zhǎng)管均勻吊裝在爐內(nèi)的源極平臺(tái)上; S3 樣品表面清洗及刷涂料：先后用丙酮和酒精擦拭TC4圓管樣品內(nèi)壁并吹干，然后對(duì)TC4圓管樣品外壁進(jìn)行清洗、涂抹防滲涂料; S4 抽真空：將上述處理后的TC4圓管樣品放入熱處理爐中;打開電源，并啟動(dòng)氣氛系統(tǒng)，使真空泵對(duì)爐內(nèi)進(jìn)行抽真空直至真空壓強(qiáng)<1Pa，打開水冷開關(guān); S5 升溫：設(shè)定電壓為750V，爐內(nèi)TC4圓管樣品逐漸升溫，等待加熱至50℃時(shí)，氣氛系統(tǒng)的氣體開關(guān)自動(dòng)打開，通氬氣，當(dāng)溫度上升至60℃時(shí)，設(shè)定氣壓為200Pa;等待至爐內(nèi)氣壓無法上升且樣品溫度上升緩慢時(shí)，同時(shí)通氬氣和氮?dú)?，使得爐內(nèi)N2：Ar=3:1;隨后調(diào)整控制輸出旋鈕以改變升溫速率，調(diào)整溫度直至樣品溫度為900℃±15℃; S6 雙輝離子滲氮：①穩(wěn)定運(yùn)行時(shí)設(shè)備參數(shù)：輝光系統(tǒng)的源極電壓750V，壓強(qiáng)200Pa，N2：Ar=3:1;源極控制輸出為27.6%、電流30A;陰極控制輸出為50.7%、電流24A;②雙輝離子滲氮運(yùn)行時(shí)間：TC4圓管樣品表面升至900℃時(shí)，開始計(jì)時(shí)8小時(shí); S7 冷卻：①運(yùn)行至所需時(shí)間后，源極、陰極兩邊電壓歸0，氣體流量歸0，控制輸出旋鈕調(diào)至最小;②等氣壓抽至100Pa時(shí)，關(guān)閉真空泵，保持冷卻水流通，直至樣品隨爐冷卻至室溫。 2.如權(quán)利要求1所述的一種鈦合金圓管內(nèi)壁表面雙輝等離子滲氮的處理方法，其特征在于：所述TC4圓管，化學(xué)元素質(zhì)量占比 (wt%)：Al：6.01，V：3.84，F(xiàn)e：0.30，C：0.10，N：0.05，O：0.20，H：0.015，Ti：89，其余為雜質(zhì)。 3.如權(quán)利要求1所述的一種鈦合金圓管內(nèi)壁表面雙輝等離子滲氮的處理方法，其特征在于：冷卻完成后，進(jìn)行取樣、清洗和檢測(cè)步驟，具體如下： S8 取樣：降溫