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鉬銅熱沉材料的制備方法

285   編輯:中冶有色網(wǎng)   來源:長沙升華微電子材料有限公司  
2025-06-24 15:45:39
權(quán)利要求 1.一種鉬銅熱沉材料的制備方法,其特征在于,該制備方法步驟如下: S1、選取原料:鉬棒材、銅漿料,準(zhǔn)備好模板; S2、排列模板:將鉬棒材排列在模板; S3、包裹模板:將排列有鉬棒材的模板四周進(jìn)行包裹,形成頂部開口的型腔; S4、澆筑銅漿料:向型腔中澆筑銅漿料,常溫下流平,真空脫泡; S5、定型脫模:將模板和材料低溫固化定型,定型后脫模,得到1-3型結(jié)構(gòu)鉬銅復(fù)合材料的坯料; S6、氣氛燒結(jié):將1-3型結(jié)構(gòu)鉬銅復(fù)合材料的坯料進(jìn)行氣氛燒結(jié),得到一種鉬銅熱沉材料即1-3型結(jié)構(gòu)鉬銅復(fù)合材料。 2.權(quán)利要求1所述的一種鉬銅熱沉材料的制備方法,其特征在于,步驟S1中,所述鉬棒材為方柱形,純度不低于99.95%;所述銅漿料,粘度50-250pa.s,方阻≤1.5mΩ/sq。 3.如權(quán)利要求2所述的一種鉬銅熱沉材料的制備方法,其特征在于,步驟S2中,所述模板的材質(zhì)為聚四氟乙烯,且模板上層有方形下沉通道;所述鉬棒材呈垂直模板方向置于方形下沉通道。 4.如權(quán)利要求3所述的一種鉬銅熱沉材料的制備方法,其特征在于,步驟S3中,所述包裹材料為聚四氟乙烯,高度等同于鉬棒材。 5.如權(quán)利要求4所述的一種鉬銅熱沉材料的制備方法,其特征在于,步驟S4中,所述流平的溫度25℃,時間5-20min,真空脫泡時間30-120min。 6.如權(quán)利要求5所述的一種鉬銅熱沉材料的制備方法,其特征在于,步驟S5中,所述低溫固化定型為使用隧道爐烘干,溫度150℃,時間10-15min。 7.如權(quán)利要求6所述的一種鉬銅熱沉材料的制備方法,其特征在于,步驟S6中,所述氣氛燒結(jié)為使用氮氣氣氛燒結(jié)爐,峰值溫度為950℃,峰值時間為10-20min。 8.如權(quán)利要求7所述的一種分級多孔碳銅復(fù)合材料的制備方法,其特征在于,所述步驟S6之后,還有步驟S7;所述步驟S7為層狀單元分割即將燒結(jié)后1-3型結(jié)構(gòu)鉬銅復(fù)合材料進(jìn)行層狀單元分割,得到超薄鉬銅熱沉材料;所述層狀單元分割為線切割,且單層材料厚度為0.1~2mm。 9.如權(quán)利要求3所述的一種鉬銅熱沉材料的制備方法,其特征在于,步驟S1、S2中,所述鉬棒材還可為圓柱形
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