本發(fā)明公開(kāi)了一種稀土拋光粉的制備方法，包括如下步驟：（1）將碳酸稀土與水混合，然后加入礦化劑，陳化，得堿式碳酸稀土漿液；（2）將氫氟酸溶液加入到堿式碳酸稀土漿液中，攪拌1-3h，脫水，得氟碳酸稀土；（3）將氟碳酸稀土進(jìn)行焙燒，得氟氧化稀土；（4）將氟氧化稀土粉碎、分級(jí)，得稀土拋光粉。通過(guò)本發(fā)明的方法，可得到特定晶型的拋光粉，保證了拋光粉顆粒的尺寸大小和形貌的均勻度，不產(chǎn)生影響拋光精度及速率的游離態(tài)氟離子及氟化物，結(jié)晶度高；產(chǎn)品拋光粉的耐磨性好，拋光速率快，拋光精度容易控制；產(chǎn)品的均一性好，生產(chǎn)效率高，成本低、無(wú)污染，適用于集成電路、平面顯示、光學(xué)玻璃等電子信息產(chǎn)業(yè)精密器件的表面拋光加工。