本申請(qǐng)揭示了一種抗氣體干擾型MEMS氣體傳感器及制備方法，該方法包括：在氧化層的表面沉積形成一層金屬電極層；利用化學(xué)氣相沉積法，在金屬電極層的表面沉積一層絕緣層；在絕緣層表面沉積一層氣敏材料層；利用涂布或印刷的方式，在氣敏材料層表面沉積一層分離膜，分離膜的納米通道的孔徑小于干擾氣體分子的運(yùn)動(dòng)直徑。本申請(qǐng)通過在制作MEMS氣體傳感器時(shí)，增加了分離膜，該分離膜的納米通道的孔徑小于干擾氣體分子的運(yùn)動(dòng)直徑，從而使得干擾氣體分子在分離膜的納米通道內(nèi)發(fā)生大量碰撞，無法通過分離膜，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)干擾氣體的阻隔，避免干擾氣體對(duì)傳感器內(nèi)敏感材料的影響，提高了熱式傳感器的準(zhǔn)確性，使熱式傳感器對(duì)目標(biāo)氣體選擇性較好。