本發(fā)明涉及一種纖維增強(qiáng)金屬基復(fù)合材料Y2O3涂層的物理氣相沉積方法，本發(fā)明的步驟如下：將帶C涂層的連續(xù)SiC纖維纏繞到樣品架上，放入到磁控濺射設(shè)備的樣品室；抽真空使背底真空優(yōu)于8×10?4Pa，通入Ar氣，對樣品架施加?500～?2000V高偏壓，對纖維表面進(jìn)行離子清洗；再通入反應(yīng)氣體氧氣，結(jié)合閘板閥控制工作壓強(qiáng)；啟動濺射電源，在濺射過程中交替控制氧氣流量或濺射偏壓獲得不同Y2O3相(單斜/立方)，實現(xiàn)相結(jié)構(gòu)交替涂層；關(guān)閉濺射，在Ar氣保護(hù)環(huán)境下，冷卻至50℃以下。本發(fā)明中單斜/立方相交替形成的層界面有效降低了應(yīng)力和改善附著力，制備出界面完好的SiC纖維增強(qiáng)鎳基復(fù)合材料，有助于實現(xiàn)高性能纖維增強(qiáng)鎳基復(fù)合材料的制備。