本發(fā)明提供了一種利用含氟廢棄物合成五氟化磷的方法，屬于含氟廢棄物回收再利用領域。該方法利用半導體集成電路制造及氫氟酸蝕刻處理玻璃中產(chǎn)生的含氟廢棄物進行合理處理再利用合成五氟化磷，以用于新能源類產(chǎn)品六氟磷酸鋰的合成。本發(fā)明的方法變廢為寶，并減少環(huán)境污染，拓展了五氟化磷及六氟磷酸鋰合成原料的來源，降低了生產(chǎn)成本，并降低處理后排放廢水廢渣中氟含量，達到國家標準，避免造成嚴重的環(huán)境污染。