本發(fā)明涉及新能源機(jī)械的技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種半導(dǎo)體晶圓切片成型機(jī)床,其通過(guò)對(duì)晶圓切片工作進(jìn)行連續(xù)自動(dòng)操作,可有效提高工作效率,采用激光進(jìn)行切割,可有效降低切割面的粗糙度,提高晶圓生產(chǎn)質(zhì)量,有效避免設(shè)備運(yùn)行對(duì)原料的破壞,方便對(duì)晶圓進(jìn)行保護(hù),提高產(chǎn)品的成品率,提高經(jīng)濟(jì)效益,提高實(shí)用性和可靠性;包括工作臺(tái)、四組支腿、中控箱、第一環(huán)形導(dǎo)軌和內(nèi)齒環(huán),四組支腿均勻安裝在工作臺(tái)的底部外側(cè),中控箱安裝在工作臺(tái)的頂部左前側(cè),工作臺(tái)的右側(cè)設(shè)置有上下貫穿的料口,第一環(huán)形導(dǎo)軌安裝在工作臺(tái)的底部右側(cè)。
聲明:
“半導(dǎo)體晶圓切片成型機(jī)床” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)