一種含HF酸尾氣處理裝置，包括六氟磷酸鋰合成尾氣管、冷凝器、氟化氫接收罐、反應器、分離罐以及回收罐，所述六氟磷酸鋰合成尾氣管與冷凝器氣體進口連接，冷凝器的冷凝液出口與氟化氫接收罐連接，冷凝器氣體出口與反應器進口連接，反應器內預置有SiO2粉末，反應器出口與分離罐連接，分離罐內預置有乙醚，分離罐出口與回收罐連接。本實用新型先將HF轉變?yōu)镾iF4，再通過乙醚使HCl和SiF4的分離，省去了傳統(tǒng)的洗滌塔等洗滌設備，工序簡單，HCl和HF分離徹底，且SiF4和HCl均可回收利用，真正實現(xiàn)尾氣零排放，并且，SiF4轉變?yōu)榉杷?，有利于提高氟資源的綜合利用率，經(jīng)濟效益高。