本發(fā)明涉及工業(yè)硅的除雜工藝，具體涉及一種工業(yè)硅通氣造渣冶煉結合預處理后酸洗工藝，包括采用鈉，鈣，鋰，鎂的綜合渣進行高溫熔煉后，進行渣金分離，得到的工業(yè)硅磨粉后，在氧化氣氛下預處理。預處理完成后，把硅粉和氫氟酸，鹽酸，硝酸，雙氧水的混合溶液充分混合后進行固液分離，去除大部分的硼，磷，碳，鋁，鐵。該工藝可以同時去除硼，磷，碳，鋁，鐵等對太陽能有害元素，具有高效，節(jié)能，低成本的特點。