本發(fā)明公開了一種摻雜多孔硅球的制備方法，該方法包括：選用一定摻雜濃度的硅球，氫氟酸清洗后，先用硝酸鹽和氫氟酸，輔助超聲后再用氫氟酸和氧化劑配制的溶液在一定的時間和溫度條件下反應，再經(jīng)離心清洗，最后通過硝酸清洗等后處理制備納米多孔硅球。本發(fā)明通過大量實驗篩選出最佳的反應溶液的種類、最佳濃度，各組份的最佳配比和反應溫度和反應時間，超聲的最佳頻率及處理時間。整個制備方法，工藝設計合理，可操作性強，生產(chǎn)成本低廉，生產(chǎn)效率高，可大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)。本發(fā)明制備得到的高純度的摻雜多孔硅球，孔形規(guī)則，布置均勻，呈蜂窩狀，球形規(guī)整，可廣泛應用于鋰電池、太陽能電池、半導體和傳感器等領域。