本發(fā)明實施例提供了一種自動掃描水模體系統(tǒng)定位性能檢測裝置。該裝置包括：X軸向和Y軸向運動檢測裝置，Z軸向運動檢測裝置，探測器運動軌跡延長裝置，支架；所述X軸向和Y軸向運動檢測裝置包括X軸向的主尺、游標和第一激光位移傳感器，所述游標安裝在所述主尺上，所述第一激光位移傳感器安裝在所述游標上；所述Z軸向運動檢測裝置包括高度尺和第二激光位移傳感器，所述第二激光位移傳感器安裝在所述高度尺上；所述探測器運動軌跡延長裝置跟隨所述自動掃描水模體系統(tǒng)的探測器移動支架移動；所述X軸向和Y軸向運動檢測裝置和所述Z軸向運動檢測裝置安裝在所述支架上。實現(xiàn)了非接觸方式檢測探測器的定位性能，測量結果的準確性更高。