一種化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)，其包括蒸汽產(chǎn)生器，該蒸汽產(chǎn)生器具有：加熱元件，其對容器施加熱量以產(chǎn)生蒸汽；開口，其將蒸汽輸送至拋光墊上；第一閥，其在開口與容器之間的流體管線中；傳感器，其監(jiān)測蒸汽參數(shù)；及控制系統(tǒng)?？刂葡到y(tǒng)經(jīng)配置以：根據(jù)配方中的蒸汽輸送排程使閥打開及關(guān)閉；接收來自傳感器的蒸汽參數(shù)的測量值；接收蒸汽參數(shù)的目標(biāo)值；用目標(biāo)值及測量值作為輸入來執(zhí)行比例積分微分控制算法，從而控制第一閥和/或第二釋壓閥和/或加熱元件，以使得在根據(jù)蒸汽輸送排程打開閥之前測量值基本上到達(dá)目標(biāo)值。