本實(shí)用新型公開一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備放空壓力控制裝置,該方法主要包括運(yùn)行管線(1)、放空管線(2)、運(yùn)行隔膜閥(3)、放空隔膜閥(4)、壓力計(jì)(5)、蝶閥(6)、氣體質(zhì)量流量控制器(7)、金屬有機(jī)源(8)、反應(yīng)室(9)、尾氣系統(tǒng)(10)。放空管線(2)上安裝有壓力計(jì)(5)和蝶閥(6),而且壓力計(jì)(5)在蝶閥(6)的上游,兩者形成負(fù)反饋回路,通過壓力計(jì)(5)實(shí)時(shí)測量放空管線(2)壓力,并由蝶閥(6)將設(shè)定壓力和實(shí)測壓力進(jìn)行比較,蝶閥(6)通過調(diào)節(jié)開度完成放空管線(2)壓力的實(shí)時(shí)控制。