本發(fā)明屬于化學(xué)檢測(cè)方法技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及到采用等離子體質(zhì)譜法對(duì)碳化硅中鋁、鎂等18種雜質(zhì)元素含量進(jìn)行測(cè)定的方法。包括以下步驟：(1)確定試樣中雜質(zhì)元素；(2)破碎篩選；(3)超聲清洗；(4)冷卻、過濾；(5)制備試樣溶液；(6)配制工作標(biāo)準(zhǔn)溶液；(7)準(zhǔn)備內(nèi)標(biāo)溶液；(8)在電感耦合等離子體質(zhì)譜儀上依次測(cè)定工作標(biāo)準(zhǔn)溶液、空白溶液、試料溶液，測(cè)定時(shí)持續(xù)引入內(nèi)標(biāo)溶液，用標(biāo)準(zhǔn)曲線法測(cè)定各待測(cè)元素的含量。本發(fā)明成功建立了碳化硅中18種雜質(zhì)元素含量的檢測(cè)方法，利用發(fā)明內(nèi)容中列舉的實(shí)驗(yàn)條件可以精確測(cè)定碳化硅中雜質(zhì)元素含量，解決了生產(chǎn)中急需的碳化硅中雜質(zhì)含量測(cè)定工作，滿足了碳化硅中雜質(zhì)元素含量檢測(cè)的需求。