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使用多種測量技術(shù)的計量系統(tǒng)和方法

1189   編輯：管理員   來源：中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 07:25:20
本文公開了用于在化學(xué)氣相沉積工藝期間檢測互補的數(shù)據(jù)組的系統(tǒng)和方法。該系統(tǒng)和方法減少了化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器中有限窗口空間的使用，同時獲得了化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器中結(jié)構(gòu)的外延生長中的各種階段的有用數(shù)據(jù)。
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“使用多種測量技術(shù)的計量系統(tǒng)和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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