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微流控芯片中被動微混合器和微反應(yīng)器的制作方法

874 編輯：管理員來源：中冶有色網(wǎng)

2023-03-19 07:33:29

一種微流控芯片中被動微混合器和微反應(yīng)器的制作方法,首先進行底面和側(cè)面均帶有亞微結(jié)構(gòu)的玻璃母模芯片的制作,利用玻璃母板芯片制備三面或全通道均具有亞微結(jié)構(gòu)的全玻璃芯片或全玻璃混合芯片,或通過澆注聚合物翻模得到與玻璃母板微結(jié)構(gòu)互補的陽模,利用該陽模再次澆注復(fù)制得到具有玻璃母板結(jié)構(gòu)的聚合物基材的芯片,進而通過封合制得全聚合物混合芯片或復(fù)合芯片。本發(fā)明方法可以用玻璃為基礎(chǔ)材料,基材成本低,機械強度高,光學(xué)透明,對制作環(huán)境無特殊要求,只需一次曝光和一次刻蝕,形成的混合通道中的亞微結(jié)構(gòu)具有一定的流線型,在微流控分析芯片及微流動化學(xué)反應(yīng)器工程中有廣泛的應(yīng)用潛力。

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