本發(fā)明屬于材料表面處理技術(shù)領(lǐng)域，本發(fā)明公開(kāi)了一種不銹鋼表面硅烷化處理膜的制備方法，采用硅烷化處理劑四氫化硅與參雜劑氫化磷形成的混合氣體，通過(guò)化學(xué)氣相沉積，在不銹鋼表面形成一層無(wú)定型硅處理膜，所述的混合氣體中，四氫化硅的體積百分比為95-99%，氫化磷的體積百分比為0.1-5%。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的有益效果為：不銹鋼表經(jīng)硅烷化處理后具有良好的抗腐蝕性能，含有酸性物質(zhì)的氣體樣品在不銹鋼罐中儲(chǔ)存及運(yùn)輸過(guò)程中濃度無(wú)明顯變化，滿足了大氣環(huán)境氣體樣品采集、分析的要求。