本發(fā)明提供了一種發(fā)射尖端、熱場(chǎng)發(fā)射電子源及制作方法，屬于電子束成像檢測(cè)領(lǐng)域，本發(fā)明提供的發(fā)射尖端包括本體部和延伸部；所述延伸部的一端與所述本體部軸向連接，另一端朝向遠(yuǎn)離所述本體部的方向軸向延伸，且存在一逐漸縮小的第一連接部；延伸部的任一軸截面均為一對(duì)相對(duì)設(shè)置的至少一對(duì)內(nèi)凹弧形結(jié)構(gòu)，且所述延伸部的側(cè)壁環(huán)設(shè)有至少一圈凹槽部。本發(fā)明還提供了一種包括該發(fā)射尖端的熱場(chǎng)發(fā)射電子源及制作方法。本發(fā)明提供的發(fā)射尖端和熱場(chǎng)發(fā)射電子源，凹槽部和內(nèi)凹弧形結(jié)構(gòu)相互配合，更加優(yōu)化了高壓電場(chǎng)在尖端的分布，改善了輪廓表面的物理化學(xué)特性，獲得了更高的亮度、更小的總發(fā)射電流以及更高的穩(wěn)定性。