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基于超穎表面的光纖濕度傳感器及其制作方法

1149   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:30:14
本發(fā)明公開(kāi)的一種基于超穎表面的光纖濕度傳感器及其制作方法,屬于傳感和測(cè)量應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明公開(kāi)的光纖傳感器主要由光纖、粘接劑、超穎表面和增敏物質(zhì)組成。通過(guò)粘接劑將光纖端面和超穎表面固定在一起。增敏物質(zhì)涂覆在超穎表面上。超穎表面由具有長(zhǎng)方形橫截面的不同尺寸、不同方位角的納米孔陣列構(gòu)成。所述光纖傳感器采用具有不同旋轉(zhuǎn)角度的金屬微納結(jié)構(gòu)產(chǎn)生多個(gè)具有不同折射率靈敏度的諧振峰,通過(guò)監(jiān)測(cè)諧振峰特征參數(shù)的變化能夠?qū)崿F(xiàn)多個(gè)傳感參數(shù)的測(cè)量。本發(fā)明的制作方法有助于降低纖端光纖傳感器的制作成本和制作周期。本發(fā)明具有小有效傳感面積、多諧振峰、高魯棒性的優(yōu)點(diǎn),應(yīng)用于工業(yè)、農(nóng)業(yè)、醫(yī)療和化學(xué)生物等領(lǐng)域。
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