本實用新型公開一種研磨墊修整器及研磨裝置，通過在研磨盤上設置有可拆卸連接的信號探測器，當研磨墊修整器在進行修整作業(yè)時，扭力傳感器采集信號探測器中的摩擦力探頭與研磨墊接觸時所產(chǎn)生的壓力信號，之后將壓力信號顯示于監(jiān)測器上，由監(jiān)測器所顯示波形的狀態(tài)即可得知研磨墊的表面的狀況，根據(jù)研磨墊的表面的狀況可以獲知研磨墊修整器對研磨墊的修整情況，同時可以根據(jù)實際情況選擇更換研磨墊，避免了采用現(xiàn)有技術獲知研磨墊的表面的狀況需要耗費大量的人力物力的問題，提高了進行化學機械研磨時產(chǎn)品的良率。